新能源汽车智能驾驶高精度MEMS惯性传感器研制技术
(1)高精度小型化IMU模组结构设计
设计高可靠、应力匹配的MEMS传感器芯片结构,并且隔离外部振动、冲击和安装带来的应力变化,保持其性能稳定。
(2)低应力封装组装技术
对传感器的封装及组装形式进行设计和仿真,选择合适的粘接胶。
(3)全温区批量标定测试技术
建立高精度快速的标定补偿流程及模型,研制快速批量标定测试系统。
需解决:
1、小型化IMU模组结构设计不太可靠,应力匹配度低,振动、冲击和安装不能保持稳定性能。
2、较难形成传感器的封装及组装形式进行设计和仿真,找不到合适的粘接胶。
3、标定补偿流程及模型精准度低,不能完成测试系统。
陀螺仪零偏稳定性:10°/h;
陀螺仪全温零偏:0.05°/s;
陀螺仪标度误差:0.2%;
加速度计零偏稳定性:0.2mg;
加速度计全温零偏:2mg;
加速度计标度误差:0.2%;
产业化目标:50万套。
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