利用MEMS技术的水平6轴传感器
高灵敏度的触觉传感器,在9x9x5毫米的封装中具有多达6个轴。经过校准的数字信号可以直接从这 种尺寸的传感器中输出,而不需要使用附属部件。该传感器可用于空间有限且迄今无法安装传感器的地 方,包含专利技术的专有传感器核 心,已经实现了8英寸MEMS晶圆的制造。传感器的输出和基片的尺寸可以定制。
如机器人的指尖和可穿戴设备。微机械电子系统(MEMS)被用于传感器核心,以实现空前的微型化。
项目优势:应用范围:机器人(通过将其安装在机器人的指尖上,它可濾有与史綫似的力的触觉感应功能);医疗(当安装在医疗设备上时,它可以对感觉运动进行量化。未来它可以被用于医疗机器人);游戏设备 (一个指尖大小的按钮就能控制三维运动)
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