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一种光刻胶树脂单体丙烯酸酯类化合物的HPLC分析方法

  • 发布时间: 2023-01-10
预算 双方协商
基本信息
成果方:河北科技大学
合作方式:
成果类型:发明专利,
行业领域
新材料及其应用
成果描述

本发明提供了一种光刻胶树脂单体丙烯酸酯类化合物的HPLC分析方法,该方法为采用正相高效液相色谱法,流动相为小极性烷烃溶剂或小极性烷烃溶剂与色谱纯醇的混合溶液,使用紫外检测器对丙烯酸酯类树脂单体进行等度洗脱。本发明方法具有专属性强、方法操作简单、灵敏度高、易于标准化操作优点,可用于树脂单体丙烯酸酯类产品工业化分析检测,提高树脂单体丙烯酸酯类产品工业化生产检测的准确性。

应用范围
光刻胶树脂丙烯酸酯类产品是最早一代的193nm光刻胶用树脂。从90年代后半期开始,光刻光源就开始采用248nm的KrF激光;而从2000年代开始,光刻就进一步转向使用193nm波长的ArF准分子激光作为光源。直至今天的20多年里,193nm波长的ArF准分子激光一直是半导体制程领域性能最可靠,使用最广泛的光刻光源。

前景分析
本发明相比GC与NMR分析检测方法,HPLC法操作简单、灵敏度高、准确性强。本发明通过控制色谱柱柱温箱温度,使样品在整个分析过程中,处于20‑25℃,降低了丙烯酸酯类产品因高温产生的聚合;用色谱醇作为溶剂溶解样品,提高样品的溶解性,样品溶液稳定,产品不易自聚。
 本方法操作简单、灵敏度高,样品分析周期为20min,分析时间大大缩短,通过外标法进行定量分析,结果误差小于0.5%,且HPLC仪器设备更普遍,提高了工业生产中丙烯酸酯类产品的分析检测效率及检测准确性。


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    孙凤霞

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