电子信息技术

本发明公开了一种便携式光纤干涉三坐标测量机及测量三坐标的方法，该测量机包括光纤衍射球面波发生装置、光纤笔、球面波干涉光强度测量仪，其测量方法是采用多参考点多边测量原则，组成非线性超定方程组，应用最小二乘迭代方法，求解出两光纤球面波出射端中心A、B在o-xyz坐标系中的坐标，再利用共线条件求解出光纤笔笔尖（被测点）的三维坐标。本发明的构件组成简单，成本低廉，测量时易于操作且测量结果可靠，测量精度可达到1um，如果有效增大CCD光电探测器阵列的尺寸，测量精度可提高到0.1um。本发明适用于在任何场合进行三维坐标的测量。

三坐标测量机作为一种高效的精密测量仪器，将一切尺寸、形状、位置等几何量测量都归结为坐标测量，利用软件求特征参数，进行评定，使它具有很强的通用性；而且，由于其测量范围大、精度高，易与柔性制造系统和计算机集成制造系统相连接，因而它在机械、电子、汽车和航空航天等工业中有极广泛的应用。

本发明所提供的测量机构件组成简单，成本低廉，便于携带与装配，其测量三坐标的方法易于操作且测量结果可靠，测量过程不受环境条件的限制，CCD光电探测器阵列的尺寸是影响测量机测量精度的主要因素之一，利用目前常规尺寸(长×宽=6．4mm×4．8mm)的CCD，测量精度可达到1μm；如果能有效增大CCD光电探测器阵列的尺寸，例如采用20．48mm×20．48mm的CCD阵列，其测量精度可以进一步提高到0．1μm。