一种高熵合金表面碳化物/金刚石涂层及其制备方法，所述合金以Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、V、Mo金属元素中任意n种元素为原料，n=4或5或6，按照等原子比例配比后，在真空非自耗电弧熔炼炉中熔炼6‑8遍，获得n元等原子比例合金,通过微波等离子体化学气相沉积碳化处理，n元等原子比例合金形成n元等原子比例合金碳化物/金刚石涂层。所制备得到的碳化物/金刚石涂层具有优异的表面耐磨性。

 本发明属于高熵合金表面硬质涂层领域，具体涉及一种高熵合金表面碳化物涂层/金刚石涂层材料的制备方法。

本发明的有益效果和优点在于：本发明所提供的一种高熵合金表面碳化物/金刚石涂层及其制备方法适用于较宽泛的衬底材料成分范围的制备条件；本发明在亲碳元素组成的高熵合金表面所制备得到的碳化物/金刚石涂层具有良好的耐磨性，具有广泛的工程应用前景。