新材料及其应用

本发明公开了一种飞秒激光在石英玻璃内部烧蚀微通道的方法，包括以下步骤：（1）激光束焦点运动轨迹设定，设定激光束焦点的运行路径，使其与石英玻璃表面夹角为45°且沿直线运动；（2）调节激光的不同功率，（3）测量不同功率激光束焦点在石英玻璃表面烧痕的长度，该长度即为该功率在石英玻璃内部烧蚀的深度；（4）根据需要烧蚀的深度，利用（3）所测得的数据对应关系，即可得知所需要的功率。通过上述方法，可以将较难测量深度转化为易测量的表面长度，并建立激光功率与烧蚀深度之间的对应关系。

飞秒激光的高精度靶向定位、瞬时高能量、微纳米级非接触加工的特点，适合于在石英玻璃内部直接加工微尺度结构

通过建立激光功率、烧蚀深度关系曲线，可以通过曲线表达任意功率下对应的深度。表示更直观、更准确。