电子信息技术

具备完全知识产权的表面膜结构三维光学测试仪器是针对晶圆级表面膜结构的表面形貌和薄膜相关特性测量需求，对光学干涉与反射光谱多模式测量技术;仪器可靠性及其应用等方面关键技术进行研发，解决复合膜层表面形貌测量;高深宽比结构膜厚测量;微区域膜层测量;表面形貌和膜厚同区域测量等难题。