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一种单晶碳化硅晶片的化学集群磁流变复合加工方法
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种圆盘刀刃口磨损的检测方法及装置
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法及系统
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种磁流变弹性体及其制备方法和应用
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥10.00万
一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法
技术领域：新能源与高效节能
成果方：广东工业大学
￥0.60万
一种半导体晶片磁控研磨和抛光一体盘及其使用方法
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥10.00万
一种固相反应的液体弹珠式半导体晶片研磨块及其制备方法和应用
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥3.00万
一种用于半导体晶片化学机械抛光的磁流变弹性抛光垫、制备方法及其应用
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥20.00万
一种用于SiC晶片化学机械抛光的磁流变弹性金属接触腐蚀抛光垫、制备方法及其应用
技术领域：先进制造技术
成果方：广东工业大学
￥20.00万
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